°æ±âµµ´Â 31ÀÏ ¿ÀÈÄ ÆòÅà ¿¢¼¿¸®½º ÄÚ¸®¾Æ¿¡¼ ¿¸° 100´ë Àåºñ ¼±Àû ±â³äÇà»ç¿¡¼ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ±â¾÷ ¿¢¼¿¸®½º(Axcelis)ÀÇ ¼º°ú¸¦ ÃàÇÏÇϰí ÇâÈÄ ÅõÀÚ È®´ë¿Í Áö¿ª »ê¾÷ »ýŰè Çù·Â ¹æ¾ÈÀ» ³íÀÇÇß´Ù.
À̹ø Çà»ç´Â ÀÌ¿ÂÁÖÀÔ(Ion Implantation) Àåºñ ºÐ¾ß ¼¼°è ¼±µµ±â¾÷ ¿¢¼¿¸®½º(Axcelis)°¡ ±¹³» »ý»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ Áö ºÒ°ú 4³â ¸¸¿¡ 100´ë Àåºñ ¼±ÀûÀ̶ó´Â ¼º°ú¸¦ ´Þ¼ºÇÑ °ÍÀ» ±â³äÇϱâ À§ÇØ ¸¶·ÃµÆ´Ù.
Çà»ç¿¡´Â ·Î¹öÆ® ¸¶È£´Ï(Robert Mahoney) ±Û·Î¹ú ¿î¿µ ¼ö¼®ºÎ»çÀå, ¹Ú¿µ±Ù ¿¢¼¿¸®½º ÄÚ¸®¾Æ ´ëÇ¥, Á¤Àå¼± ÆòÅýÃÀå, À¯¼ÒÁ¤ °æ±âµµ ÅõÀÚÁøÈï°úÀå, Çù·Â¾÷ü ´ëÇ¥ µî 30¿© ¸íÀÌ Âü¼®Çß´Ù. Âü¼®ÀÚµéÀº ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ýÅÂ°è ¹ßÀü°ú ±Û·Î¹ú °ø±Þ¸Á ¾ÈÁ¤È¸¦ À§ÇÑ ±ä¹ÐÇÑ Çù·Â ÀÇÁö¸¦ ´ÙÁ³´Ù.
¿¢¼¿¸®½º´Â 1978³â ¹Ì±¹ ¸Å»çÃß¼¼Ã÷¿¡¼ ¼³¸³µÈ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ±â¾÷À¸·Î, ¹ÝµµÃ¼ 8´ë °øÁ¤ÁßÀÇ Çٽɱâ¼úÀÎ À̿ ÀÓÇöõÆ® Àåºñ±â¼úÀ» º¸À¯Çϰí ÀÖ´Ù. ¿¢¼¿¸®½º´Â ÀÌ·¯ÇÑ ÃʰÝÂ÷ ±â¼ú·ÂÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î Àü·Â¹ÝµµÃ¼ ¹× ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼ ±Û·Î¹ú Ç¥ÁØÀ» ÁÖµµÇϸç Çѱ¹À» ¾Æ½Ã¾Æ Àü·« °ÅÁ¡À¸·Î À°¼ºÇϰí ÀÖ´Ù.
¿¢¼¿¸®½º ÄÚ¸®¾Æ´Â 2021³â ÆòÅà AAOC(Axcelis Asia Operations Center)¸¦ ¼³¸³ÇÑ µÚ, 2023³â ¡®1¾ïºÒ ¼öÃâÀÇ Å¾¡¯°ú µ¿Å¾»ê¾÷ÈÆÀåÀ» ¼öÈÆÇßÀ¸¸ç ¿ÃÇØ 6¿ù 100´ë Àåºñ ¼±ÀûÀ» ´Þ¼ºÇÏ¸ç ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ»ê¾÷ ¹ßÀüÀ» À̲ø¾î¿Ô´Ù.
ƯÈ÷, Áö³ 4³â°£ ±¹³» Çù·Â»ç ¼ö¸¦ 8°³¿¡¼ 35°³·Î È®´ëÇÏ¸ç ¾à 250¸í ÀÌ»óÀÇ °£Á¢ °í¿ë È¿°ú¿Í 1,700¾ï ¿ø ±Ô¸ðÀÇ ±¹³» Á¶´Þ ½ÇÀûÀ» ´Þ¼º, Áö¿ª »ê¾÷ »ýÅÂ°è °íµµÈ¿¡ Àû±Ø ±â¿©Çϰí ÀÖ´Ù.
À¯¼ÒÁ¤ °æ±âµµ ÅõÀÚÁøÈï°úÀåÀº Ãà»ç¸¦ ÅëÇØ ¡°À̹ø 100´ë Àåºñ ¼±ÀûÀº ÷´Ü Àåºñ ±â¼úÀÇ ±¹³» ÀÌÀü°ú Çù·Â»ç¿ÍÀÇ µ¿¹Ý ¼ºÀåÀ» »ó¡ÇÏ´Â ÀÇ¹Ì ÀÖ´Â ÀÌÁ¤Ç¥ÀÌÀÚ ¼¼°è ÃÖ´ë ¹ÝµµÃ¼ ¸Þ°¡Å¬·¯½ºÅÍÀÇ ÇÙ½É °ÅÁ¡À¸·Î¼ °æ±âµµÀÇ À§»óÀ» ÀçÈ®ÀÎÇÑ °Í¡±À̶ó¸ç ¡°°æ±âµµ´Â ±â¾÷Çϱâ ÁÁÀº ȯ°æ Á¶¼º°ú ½Å¼ÓÇÑ ÇàÁ¤ Áö¿øÀ¸·Î ±Û·Î¹ú ±â¾÷ÀÇ µçµçÇÑ ÆÄÆ®³Ê°¡ µÇ°Ú´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.