기후에너지환경부가 반도체 등 첨단산업 핵심 공업용수인 초순수(Ultra Pure Water)의 생산·공급 기술 자립화를 위해 ‘차세대 초순수 생산·공급 및 자립형 생산공정 기술개발사업(2단계)’에 본격 착수한다고 5월 27일 밝혔다.

정부는 2030년까지 초순수 전 공정 핵심 기자재의 90% 이상 국산화를 목표로 하고 있다.

초순수는 반도체·디스플레이·이차전지 생산공정에서 웨이퍼와 설비 세정에 사용되는 고순도 공업용수로, 극미량의 유기물과 입자·이온까지 제거해야 하는 고난도 수처리 기술이 요구된다. 최근 첨단 반도체 생산 안정성과 직결되는 핵심 기술로 평가되면서 국산화 필요성이 커지고 있다.

기후에너지환경부는 2021년부터 추진한 1단계 사업을 통해 자외선 산화장치(UV Oxidation), 탈기막(MDG), 이온교환수지 등 핵심 기자재 국산화에 성공했으며, 국내 기술로 생산한 초순수를 반도체 생산공정에 실제 적용해 기술 신뢰성도 검증했다.

이번 2단계 사업에서는 핵심 기자재뿐 아니라 초순수 공급 배관 등 소재 분야까지 국산화를 확대하고, 저에너지형 초순수 설비와 하수재이용수 기반 원수 처리 기술도 함께 개발한다. 또한 2027년부터는 초극미량(ppt) 분석기술 개발에 착수해 생산된 초순수의 품질 평가 기술까지 확보할 계획이다.

정부는 초순수 산업 전 주기의 국내 기술 생태계가 구축되면 첨단산업 공급망 안정성과 국가 물산업 경쟁력을 동시에 강화할 수 있을 것으로 기대하고 있다.